冠纬科技股份有限公司

半导体事业产品

半导体零组件

热电偶 TC

N2 Shield

N2-Shield 应用于半导体APCVD制程中，本公司的N2-Shield采一体成型，無螺丝设计，增加使用命，延长PM的Cycle Time，Shiled的网面部分采特殊的加工法制成，每一网洞的大小及形状均一，使得我们的Shield在均匀度及沉积率方面的表现非常好，这是由我们许多的客户验证的结果，另外在各接缝处加焊接，经由多次的Process 及 Clean Cycle后Shield的两侧档片亦不会因HF的大力清洗而脱落。