冠纬科技股份有限公司

新设备我们所提供的产品，分为设备、材料及零配件二大部份；设备如各式干蚀刻机，去光阻机，炉管，晶舟及光罩清洗机等.....，材料零配件范围非常广泛，从测试晶圆、加工之晶圆，到半导体及光电业各个制程，如黄光、扩散、离子植入、CVD、PVD、Etch、CMP等，均有产品提供，客户包含国内外各大半导体前制程、后制程及半导体设备厂商及光电厂商。
	01.电浆洗涤机 Dry Scrubber (Plasma Trap)
	02. 去光阻机 PR Stripper