冠纬科技股份有限公司

半导体事业产品

半导体零组件

半导体材料

半导体设备

新设备

射频设备/模块整新

01.电浆洗涤机 Dry Scrubber (Plasma Trap)

ETC Plasma Trap Superior Scrubber Performance for :
PECVD and LPCVD Nitride,TEOS and PSG/BPSG.
PECVD α-Si, SiC and LPCVD Poly Si.
LPCVD W and W Silicide.
MOCVD and LPCVD GaAS.
MOCVD Al. and MOCVD Cu.
PH3 Annealing.
PFC Abatement.